簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Sensors".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化銥"


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    以化學氣相沉積法合成氧化銥/氧化釕奈米桿薄膜之氣體感測特性之研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 趙子維 指導教授: 劉進興
    • 本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
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